上海集成电路配备资料工业立异中心获得热处理设备专利防止机械手臂在移出晶圆时与承托边环产生磕碰
2022-04-30 17:32:43       来源：乐鱼官网

  金融界2024年10月1日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司获得一项名为“一种热处理设备”的专利，授权公告号CN 221783165 U，请求日期为2023年12月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种热处理设备，包含工艺腔室和传感器组件；工艺腔室内设置有承托边环，承托边环用于支撑晶圆；传感器组件设置于工艺腔室内，传感器组件包含用于发射信号的榜首传感器和用于接纳榜首传感器发射信号的第二传感器；当承托边环坐落榜首方位时，承托边环遮挡榜首传感器发射的信号，当承托边环坐落第二方位时，第二传感器接纳榜首传感器发射的信号；或，当承托边环坐落榜首方位时，第二传感器接纳榜首传感器发射的信号，当承托边环坐落第二方位时，承托边环遮挡榜首传感器发射的信号；承托边环的第二方位坐落承托边环的榜首方位的上方。本实用新型供给的热处理设备，防止了机械手臂在移出晶圆时与承托边环产生磕碰。